光刻机focus的正负
来源:懂视网
责编:小OO
时间:2024-12-08 17:49:02
光刻机focus的正负
您要问的是光刻机focus的正负是什么?focus为正表示聚焦处位于样品表面之下,为负则表示聚焦处位于样品表面之上。在光刻机中,focus分为正负两个方向,focus的正负与光刻机的操作和使用有关,对于反向光刻,通常需要将focus设置为正,而正向光刻则需要将focus设置为负,正确的设置和调整focus有助于优化光刻机的成像效果,提高曝光质量。
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光刻机focus的正负
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